束監視器是用于檢查、監視和批準非常精細聚焦的激光束的理想工具,例如用于微材料加工中。MSM自動測量和分析在不同Z位置的焦點周圍的空間光束分布。
MSM光學系統示意圖
實測光束參數
光束分布在各個測量水平上。
焦點尺寸
空間焦點位置
瑞利長度
梁參數乘積
衍射指數M
測量是按照ISO 1146進行的。
1、基于PC的激光診斷軟件LDS使得可以手動和半自動地測量焦點區域中的光束分布,并確定光束位置和光束尺寸。
2、腳本半自動地控制MSM,例如在維修、質量保證和驗收檢查中重復測量問題。它們分別適應于手上的測量過程。優點:通過編程的用戶指導,可以大大減少對MSM的操作要求。
配件
根據光束參數,有三種不同的光學器件可供選擇:
3.3×MOB(測量光學)
5×MOB
15×MOB
所有光學器件可提供以下波長范圍:
340納米
360納米
515納米
545納米
1090納米
進一步的波長范圍可以通過調整透鏡上的涂層來測量。
可互換的固定中性密度玻璃濾光片以衰減脈沖和UKP激光器的峰值功率。
采用中性密度玻璃濾光片(OD1至OD5)的濾波輪能夠方便地改變MSM的測量范圍。
激光診斷軟件提供了評價測量結果和監測閾值的選擇。
激光診斷軟件還允許使用替代的光束半徑定義:第二個矩(標準)、86%個功率包含(標準)、狹縫法、刀口測試、GAU擬合過程、86%個功率密度下降、兩個額外的功率包含方法和可自由選擇的功率閾值。