束監視器是用于檢查、監視和批準非常精細聚焦的激光束的理想工具，例如用于微材料加工中。MSM自動測量和分析在不同Z位置的焦點周圍的空間光束分布。

激光參數可以簡單地和可重復地記錄在過程開發中。激光系統的調試和驗收檢查可以快速、均勻地進行。光學元件中的老化過程，導致光束參數的變化可以及時識別。因此有可能以有針對性的方式計劃維護工作。加工的零件保證質量均勻。當設備發生故障時，故障的來源可以容易地本地化，從而顯著減少停機時間。

測量方法-原理

 微焦點監視器確定聚焦激光束的光束參數，其平均功率在200微米范圍內，在加工區域內從20微米到1毫米不等。純空氣冷卻系統在CCD傳感器上對通過不同分束器和中性密度玻璃濾光片衰減的激光束成像。光束位置和光束半徑是從這樣確定的能級的光束分布導出的。借助于集成的Z軸和在激光束的不同位置的測量，確定并記錄所描述的光束參數。

根據要測量的光束源，選擇MSM的測量光學元件。這里的關鍵因素是波長（248至1090納米）和由焦點直徑確定的放大（3:1，5:1，15:1）。

集成CCD傳感器的動態范圍通過曝光時間控制擴展到超過130分貝，使得ISO 11146所要求的焦散線測量超過4瑞利長度。MSM可以補充一個可選的過濾輪，配有中性密度玻璃過濾器（OD1到OD5）。該濾波器輪能夠測量功率密度在幾瓦特/厘米×幾毫瓦/厘米2的范圍內，而無需對系統進行修改。

MSM光學系統示意圖

實測光束參數

光束分布在各個測量水平上。

焦點尺寸

空間焦點位置

瑞利長度

梁參數乘積

衍射指數M

測量是按照ISO 1146進行的。

 

兩種方案可用于MSM的操作和控制：

1、基于PC的激光診斷軟件LDS使得可以手動和半自動地測量焦點區域中的光束分布，并確定光束位置和光束尺寸。

2、腳本半自動地控制MSM，例如在維修、質量保證和驗收檢查中重復測量問題。它們分別適應于手上的測量過程。優點：通過編程的用戶指導，可以大大減少對MSM的操作要求。

配件

根據光束參數，有三種不同的光學器件可供選擇：

3.3×MOB（測量光學）

5×MOB

15×MOB

所有光學器件可提供以下波長范圍：

340納米

360納米

515納米

545納米

1030納米

1090納米

進一步的波長范圍可以通過調整透鏡上的涂層來測量。

可互換的固定中性密度玻璃濾光片以衰減脈沖和UKP激光器的峰值功率。

采用中性密度玻璃濾光片（OD1至OD5）的濾波輪能夠方便地改變MSM的測量范圍。

激光診斷軟件提供了評價測量結果和監測閾值的選擇。

激光診斷軟件還允許使用替代的光束半徑定義：第二個矩（標準）、86%個功率包含（標準）、狹縫法、刀口測試、GAU擬合過程、86%個功率密度下降、兩個額外的功率包含方法和可自由選擇的功率閾值。